Beukema's Website
Cursus Vacuümtechnologie

Gerrad P. Beukema

Les 13

Start Vorige les Volgende les Afsluiting

    Les 13: Sorptiepompen

  • les 13 (18/19 februari 2003)
    • Sheets (5,2 MB) les 13: klik hier
    • Extra informatie over scrollpomp van Varian en artikel
    • Extra informatie over NEG-pompen (The use of NEG Pumps and Coatings in Large Vacuum Systems:Experience and limitationsFabio, Mazzolini Elettra -Sincrotrone Trieste S.C.p.A., Trieste, Italy Fabio Mazzolini Elettra -Sincrotrone Trieste S.)
    • Opdracht HV-cursisten:Bestudeer het artikel: Crossover Pressure and Cryopumping, door Phil Danielson: klik hier
    • Toets 3 cursus EV-MV, ter oefening: klik hier
    • Opdracht HV-cursisten: Controleer de berekening van de benodigde pompsnelheid in het artikel "Processing Chamber Pumping Capacity Design Calculations" (klik hier), met de achtergrondinformatie uit deze bijlages (bijlage 1 en bijlage 2). Deze informatie komt uit de dissertatie van James F. Groves: "Directed Vapor Deposition", Ph.D. Dissertation, University of Virginia, 1998.
    • Hoe staat het met het "huiswerk" ? Zie ook gewijzigd programma. Maak in ieder geval de opgaven MV-98-02, MV-98-4, MV-99-3, MV-01-2